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半导体基础与应用

作者: 肖国玲，钱冬杰，张彦芳主编
出版社: 机械工业出版社
出版时间: 2014年01月
页数: 240页
中图法分类: O
ISBN: 9787111444961

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本书共分为上下两篇: 上篇为半导体物理基础与应用, 侧重于介绍半导体的基本概念、基本理论和基本应用 ; 下篇为半导体化学基础与应用, 侧重于介绍微电子制造工艺中接触到的化学品特性及其化学反应过程, 关注半导体化学品、化学气体的安全防护知识。